應用電磁波運載測距信號測量兩點間距離的儀器。測程在5～20公里的稱為中程測距儀，測程在5公里之內的為短程測距儀。精度一般為 5mm+5ppm，具有小型、輕便、精度高等特點。60年代以來，測距儀發展迅速。90年代年來，生產的雙色精密光電測距儀精度已達0.1mm+0.1ppm。電磁波測距儀已廣泛用于控制、地形和施工放樣等測量中，成倍的提高了外業工作效率和量距精度。